[实用新型]一种单晶硅制造用烘干装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅制造用烘干装置，包括箱体，箱体的一侧通过铰链铰接有箱门，箱体内部设置有烘干室，箱体在箱门一侧的顶部开设有凹槽，凹槽内转动连接有两个旋钮，箱体内部的底端开设有出风口，出风口的底端固定安装有通风管，通风管的另一端与风机固定连接，箱体内部固定安装有三层导槽，导槽上滑动连接有托板，托板上设置有通孔，托板底端的相对两边设置有导轨，托板的下方固定安装有加热棒，本实用新型的有益效果是：通过托板上开设的通孔，使被加热棒加热的气流能够穿过通孔与单晶硅充分的接触，快速的将单晶硅干燥，大大的减少了烘干时间，提升了烘干装置的烘干效率。