[实用新型]一种基于微球回音壁模式的探针式光纤湿度传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于微球回音壁模式的探针式光纤湿度传感器，其特征是：该传感器主要有单模光纤、毛细管、微球和氧化石墨烯薄膜组成,单模光纤与毛细管坍塌式熔接，从单模光纤纤芯处引出并紧贴毛细管内壁刻写的一条波导与毛细管内嵌的微球进行高效率耦合，并在微球的外表面涂覆一层氧化石墨烯薄膜。应用时，将传感器置于待测湿度空间内，湿度发生变化，会引起传感器谐振峰发生漂移，利用光纤光谱仪测量其谐振峰值的变化，即可解调出待测湿度的值。本发明具有灵敏度高，结构紧凑，迟滞效应低，重复性好等优势，可用于湿度的高精度测量。