[实用新型]一种晶圆背面磨床的搬运手有效
| 申请号： | 202022647920.6 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN213917720U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 吴张琪;陶施家;沈鑫佳;吴酉;徐海刚 | 申请（专利权）人： | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 金亚丁 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的搬运手，包括固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构，所述固定机构包括固定板、安装板以及设置在固定板与安装板之间的多个支撑柱，所述升降机构包括升降驱动单元、升降组件以及滑动板，所述升降驱动单元与固定板相连接，所述升降组件两端分别与升降驱动单元、滑动板相连接，所述滑动板设置在固定板与安装板之间，所述滑动板套设在支撑柱上且可沿支撑柱上下运动；所述转动机构包括转动驱动单元以及转动组件，所述转动驱动单元设置在滑动板上；所述吸盘机构包括连接组件以及吸盘件，所述吸盘件与抽真空装置相连通。本实用新型结构紧凑，实现对晶圆的纵向以及横向的搬运过程，具有更好的安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背面 磨床 搬运 | ||
【主权项】：
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