[实用新型]透射式激光光斑尺寸的测量装置有效

专利信息
申请号: 202022642475.4 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN213631970U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 费小云;谢斌斌;郭颖;沈琳峰;侯利;杨侃侃;章利梁;胡欣露 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所嘉兴工程中心
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 314000 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种透射式激光光斑尺寸测量装置,包括测量屏、成像单元、显示单元、数据处理单元和存储单元,所述的测量屏材料对待测激光波长透明,所述的测量屏的光入射面为匀光面,光出射面为刻度面,所述的成像单元包括工业相机和镜头,所述的显示单元、数据处理单元和存储单元都与所述的成像单元相连。本实用新型解决了激光光斑测量受探测面尺寸限制的问题,同时解决现有反射式激光光斑测量装置中存在的设备空间布局难以实现的问题。
搜索关键词: 透射 激光 光斑 尺寸 测量 装置
【主权项】:
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