[实用新型]一种单晶硅圆片的自动化检测装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅圆片的自动化检测装置，包括检测台，检测台上装设有支撑板，支撑板上开设有滑槽，滑槽的槽壁之间装设有螺杆一，螺杆一上滑动套设有移动块，移动块上开设有移动孔，移动块上开设有开槽，开槽的两侧槽壁之间装设有螺杆二，螺杆二上滑动套设有滑块，滑块上开设有滑孔，滑块的底部装设有红外线检测器。由于移动块可以在螺杆一上进行纵向移动，可以调整红外线检测器的纵向位置，旋转螺母一可以对移动块进行固定，又由于块可以在螺杆二上进行横向移动，可以调整红外线检测器的横向位置，再旋转螺母二能对滑块进行固定，方便根据不同直径的硅单晶圆片进行对焦处理，操作简单方便。