[实用新型]一种用于芯片生产制造的打磨装置有效

专利信息
申请号: 202022591362.6 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN213615761U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 王飞;罗志云;潘梦瑜 申请(专利权)人: 恒泰柯半导体(上海)有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B55/06;B24B41/06;H01L21/67;B01D29/03
代理公司: 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 代理人: 周高
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种用于芯片生产制造的打磨装置,特别是涉及芯片生产制造技术领域,支撑臂上部嵌入安装有抽风机,抽风机右端相接有抽管,抽管右端上侧相接有抽气罩一。将芯片放入固定夹板上,随后转动旋钮,使得活动夹板往下移动,这样通过活动夹板与固定夹板的配合,便于夹持芯片;夹持好芯片,通过磨轮进行打磨时,利用抽气罩一和抽气罩二,可以进行两个方向吸入塑料废渣,这样避免出现遗漏塑料废渣的现象,而且吸入的塑料废渣会排入收集箱内,随后遇到喷淋头喷出的水,可以避免一些塑料废渣回流出收集箱,解决了目前用于芯片生产制造的打磨装置,在打磨芯片边角的时候,产生的塑料废渣清理较为不便,导致增加了工作人员工作量的问题。
搜索关键词: 一种 用于 芯片 生产 制造 打磨 装置
【主权项】:
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