[实用新型]一种原位监测原子层沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种原位监测原子层沉积设备，包括：前驱体供应单元；沉积腔室，与所述前驱体供应单元连通，所述沉积腔室内部设置有样品台；第一电子束发射单元，与所述沉积腔室连通并向所述样品台发射第一电子束；第二电子束接收单元，与所述沉积腔室连通并接收通过所述样品台衍射形成的第二电子束；第一真空度调节单元，与所述电子束发射单元连通；以及；第二真空度调节单元，与所述沉积腔室连通。本申请解决了现有技术中原位监测原子层沉积设备和RHEED独立设置，在需要监测时，需要重新搭建、组装，搭建工作费工费时，且该种方式搭建完的设备环境，难以保证监测数据的准确性的技术问题。