[实用新型]晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构

摘要

本实用新型公开一种晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，设于晶圆研磨液混搅机台的混搅筒底穿出搅拌泵的晶圆研磨液出料口管接开关阀下方，由一阀底垫、数限位螺丝，及一固定架所构成，其中固定架底端固设于晶圆研磨液混搅机台内底板对应位置，而阀底垫对应开关阀底部透伸出的数个固定螺杆位置开设数个螺孔，以锁固开关阀于阀底垫顶面，另于固定架顶壁开设数个锁接孔，而阀底垫对应数个锁接孔处开设数个沿出料口接管延伸方向拉长的长槽透孔，于每一长槽透孔中插设一限位螺丝，使限位螺丝头凸露出长槽透孔顶，且限位螺丝杆端以适当紧度锁入对应的锁接孔中。本申请能受阻力微移缓冲吸收晶圆研磨液出料流经开关阀及开关阀周围管道时产生的管路侧力冲击。