[实用新型]一种用于单晶炉多次加料的石英筒有效
申请号: | 202022313507.6 | 申请日: | 2020-10-17 |
公开(公告)号: | CN213596455U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 英浩 | 申请(专利权)人: | 连云港保康石英制品有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 222313 江苏省连云港市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒、第一环形耳、第二环形耳、吊孔和筒塞子,所述石英筒顶部外围设有第一环形耳,所述第一环形耳底部且位于石英筒上设有第二环形耳,所述第一环形耳和第二环形耳上均分布贯穿开设有吊孔。通过将石英筒吊入单晶炉副室顶部,对石英筒内加入硅料,通过筒塞子对石英筒顶部进行盖合,通过隔板对石英筒底端的锥状出料口封堵,而后关闭副室,抽真空,再打开隔板,使石英筒内的硅料下落,实现给石英坩埚在真空状态下,二次添加硅料;整体加料石英筒可以实现多次加料,从而使石英坩埚的使用次数最大化,最大程度的缩减停机,开机次数,有效提高使用寿命,大大降低维护检修成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 多次 加料 石英 | ||
【主权项】:
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