[实用新型]一种主镜结构简化的平面干涉仪有效
| 申请号： | 202022282291.1 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213120456U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 马仁勇 | 申请（专利权）人： | 上海翔野光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B9/02 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 高红 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种主镜结构简化的平面干涉仪，包括壳体，所述壳体的内部顶壁安装有激光灯，所述壳体的内侧壁对称焊接有两个第一固定板，两个所述第一固定板相邻的一侧固定连接有分光棱镜，所述壳体的内侧壁对称焊接有两个第二固定板，两个所述第二固定板相邻的一侧固定连接有主镜，所述主镜的上表面一体成型有弧面部，在本装置使用的过程中，通过主镜一体成型的弧面部和平面部，简化平面干涉仪的主镜结构，从而降低了平面干涉仪的制造成本，利于平面干涉仪生产使用，且在使用的过程中，主镜一体成型的弧面部和平面部，减小了主体的整体变形，同时简化主镜结构，使得在平面干涉仪装配的过程中操作更加简便，便于对平面干涉仪进行装配。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 简化 平面 干涉仪 | ||
【主权项】：
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