[实用新型]一种高纯电子气体的充装系统有效
| 申请号： | 202022145015.0 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213040303U | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 金向华;夏致远;张友圣;李刚;曹文权 | 申请（专利权）人： | 金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17D1/02;F17D3/01;B01D46/00 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 223100 江苏省淮安市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯电子气体的充装系统，包括至少1个产品罐、至少2组过滤机构、以及至少1个隔膜压缩机；所述产品罐的底部通过隔膜压缩机与一组过滤机构的入口连接，所述过滤机构的出口与所述产品罐的顶部连接，构成第一级循环过滤体系；所述产品罐的底部通过隔膜压缩机与另一组过滤机构的入口连接，所述过滤机构的出口与所述产品罐的顶部连接，构成第二级循环过滤体系；所述第一级循环过滤体系中的过滤机构的过滤精度小于所述第二级循环过滤体系中过滤机构的过滤精度。本实用新型新采用了并列设置的多级循环过滤体系，统筹兼顾了粗细多级过滤、循环过滤、产品罐外部过滤，从而彻底解决了现有的管道式过滤器存在的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 电子 气体 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司，未经金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022145015.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种矿山开采喷雾风机
- 下一篇：一种中小型气垫船机舱空气散热装置
