[实用新型]一种单晶存储装置有效
| 申请号： | 202022085043.8 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN212991058U | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 贾瑞波;李斌;张利敏;高小兵;杨旭洲;赵成博;杨晓敏;姜浩;尚军鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡中环应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种单晶存储装置，解决了现在单晶在自动化小车运输后，单晶在现场占用粘棒载具，导致回流慢，减少现场载具数量提高运转效率的问题，其包括线切机、放置槽和把手，所述线切机的一侧通过第一固定螺栓安装有第一安装盘，第一安装盘一侧焊接有L型架，L型架的顶端安装有轴承，轴承内安装有转轴，转轴的顶端设置有第二安装盘，第二安装盘的顶端通过第二固定螺栓安装有横台，横台一端的底端设置有支架，支架底部的一侧设置有辅助固定架，支架的底端安装有万向滑轮，本实用新型结构新颖，构思巧妙，通过在线切机旁安装放置盘，自动化小车运输后单晶放置在放置盘内，回流速度快，加快车具回流，减少现场载具数量提高运转效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存储 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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