[实用新型]一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池加工领域，尤其涉及一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，包括支架以及若干可叠层内嵌在支架内部的硅片装载台，所述支架包括一个底座以及设置在底座四个边角的立杆，所述硅片装载台中部设置有内凹的抛光池，所述抛光池四周设置有用于支撑硅片边缘的支撑块，所述硅片装载台上表面四条边处均设置有一个定位槽，所述硅片装载台下表面四个边角处均设置有一个用于与定位槽相适配的定位柱。实用新型克服了现有技术中的硅片化学抛光效率较低的缺陷，通过本实用新型能够在抛光过程中在纵向提升硅片的抛光数量，从而有效提升硅片的抛光效率。