[实用新型]一种抛光冷却装置和化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 202021815327.1 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN211589747U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 孟松林;李硕;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 华海清科（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B37/34;B24B37/015;B24B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种抛光冷却装置和化学机械抛光设备，其中，抛光冷却装置包括冷却辊、滑动连接机构、旋转接头、基座、流体管路和驱动机构；冷却辊包括圆柱状的具有内部中空结构的杆体，冷却辊由高导热率材料制成以通过流体管路内流通的低温流体使杆体保持低温，冷却辊设于抛光垫上方并可下移至与抛光垫表面接触或与抛光垫表面的抛光液接触，从而使低温的杆体与转动的抛光垫接触时在摩擦力的作用下地自由滚动进而对抛光垫或抛光液进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 冷却 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华海清科（北京）科技有限公司，未经华海清科（北京）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021815327.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有温控模块的化学机械抛光装置
- 下一篇：抛光温度调节装置和化学机械抛光设备
