[实用新型]双层悬梁结构流量传感器及应用其的控制电路有效
| 申请号： | 202021809176.9 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN212963498U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 陈栋梁;张岩;薛峰 | 申请（专利权）人： | 合肥微纳传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/56 | 分类号： | G01F1/56 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 张景云 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型双层悬梁结构流量传感器及应用其的控制电路，自下至上依次包括衬底、下层绝缘介质层、下层金属极板、锚区、上层绝缘介质层、上层金属极板；衬底开设有第一窗口，下层绝缘介质层开设有释放第一窗口的第二窗口；第二窗口横跨有第一悬臂梁，第一悬臂梁两端固定；上层绝缘介质层向第一窗口水平延伸出第二悬臂梁，下层金属极板的第一触点上方。开设的第一窗口，形成气流通道，为第二悬臂梁的变形提供基础，基于第一悬臂梁为两端固定，不会受到气流的影响而变形，仅仅只有第二悬臂变形，实现两个悬臂间的间距发生变化，从而实现电容值的变化，满足流量传感器的测量需求，流量传感器灵敏度高；该流量传感器整体结构简单，易制作。 | ||
| 搜索关键词： | 双层 悬梁 结构 流量传感器 应用 控制电路 | ||
【主权项】：
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