[实用新型]成像系统有效
| 申请号： | 202021800057.7 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN212515347U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 于向前;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张琳琳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光斑对准技术领域，具体涉及一种成像系统，包括：光源以及投影面，所述投影面上具有度量尺寸；成像镜头组件，形成在光源与投影面之间的光路上，光源发出的光经过成像镜头组件后在投影面上形成目标光斑；调节组件，与成像镜头组件连接，调节组件用于基于目标光斑与度量尺寸调节成像镜头组件的参数使得度量尺寸与目标光斑匹配，以确定成像镜头组件的参数；其中，参数包括成像镜头组件内透镜之间的距离，或成像镜头组件与光源之间的距离。本实用新型提供的成像系统，直接对照射至所述曝光芯片上的光斑进行调整，无需通过其他光学镜头，调整的精度更高、时长更短、光斑匹配的可靠性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 系统 | ||
【主权项】：
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