[实用新型]一种MEMS传感器及智能电子终端有效
| 申请号： | 202021749908.X | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN213783592U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 胡晓华 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R1/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS传感器及智能电子终端，包括：基板和盖板，所述基板包括用于承载所述MEMS芯片的第一面、以及与所述第一面相对设置的第二面；在所述基板的第一面上设置有微孔结构，所述微孔结构被配置为连通外界环境与所述封装腔体；所述基板上设置有自所述第二面向所述第一面的方向凹陷的槽体，所述槽体内安装有防水组件；所述防水组件包括覆盖所述微孔结构的防水部件，以及与所述防水部件对应设置的保护部件；所述保护部件设置在所述防水部件的远离所述微孔结构的一侧。本实用新型的MEMS传感器在保持基板凹槽深度的同时，增加了防水部件的保护结构，整个产品可靠性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 智能 电子 终端 | ||
【主权项】：
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