[实用新型]一种蓝宝石生长炉用导流系统有效
| 申请号: | 202021742615.9 | 申请日: | 2020-08-19 |
| 公开(公告)号: | CN213327935U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 徐永亮;那木吉拉图;于海群;姜恒;汪海波 | 申请(专利权)人: | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
| 地址: | 015100 内蒙古自治区巴彦淖尔*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种蓝宝石生长炉用导流系统,包括坩埚、上保温层、侧保温层、底保温层、籽晶杆、保温件和支撑块。上保温层、侧保温层和下保温层形成具有空心部的圆柱形,坩埚位于空心部内,上保温层具有与空心部相连通的上保温中心孔,上保温中心孔呈上宽下窄的喇叭形,保温件呈锥形,保温件具有过孔,籽晶杆贯穿过孔设置,支撑块支撑在保温件远端与上保温层外壁之间,上保温中心孔的内壁与保温件之间形成挥发物导流通道。本实用新型可降低挥发物掉落坩埚的总量,以提高晶体纯度;降低挥发物掉落导致的晶体内部多晶、气泡、云雾等缺陷的产生几率;降低挥发物掉落进内部系统的几率,同时,不影响通过气流冷却籽晶杆的冷却量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 蓝宝石 生长 导流 系统 | ||
【主权项】:
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