[实用新型]一种半导体材料结晶炉有效
| 申请号： | 202021610603.0 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN213507293U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 正芯半导体技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 广州德伟专利代理事务所(普通合伙) 44436 | 代理人： | 黄浩威 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区华强北街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体材料结晶炉，包括结晶炉主体、第一盖体、控制面板、分隔机构和防误触机构，所述第一盖体可安装在结晶炉主体的前侧左端，所述控制面板可设置在结晶炉主体的前侧右端，所述分隔机构可装配在结晶炉主体的一侧，所述防误触机构可装配在结晶炉主体的另一侧。该半导体材料结晶炉可通过分隔机构将多种材料分隔开来，通过防误触机构将控制面板遮盖起来，该装置具有防误触和分隔功能，既保证了材料加工的质量，又保证了材料加工的顺利完成，使用灵活，实用性强，满足现有市场上的使用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 结晶 | ||
【主权项】：
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