[实用新型]一种硅环抛光治具有效
| 申请号： | 202021578209.3 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN212947177U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 郑勇 | 申请（专利权）人： | 安徽名正电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B55/06 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 蒋兵魁 |
| 地址： | 241100 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种应用于硅环抛光技术领域的硅环抛光治具，所述的硅环抛光治具的上抛头(1)和浮动盘(2)扣装在一起，上抛头(1)和浮动盘(2)之间形成腔体(4)，浮动盘(2)下表面设置环形结构的工件定位挡环(5)，工件定位挡环(5)内的浮动盘(2)位置设置与腔体(4)连通的气孔(6)，上抛头(1)的腔体(4)与真空泵连通，上抛头(1)与能够控制上抛头(1)旋转的驱动电机连接，本实用新型所述的硅环抛光治具，有效吸附待抛光工件，确保待抛光工件可靠随浮动盘转动，方便对待抛光工件下表面进行抛光处理，并且能够方便取下待抛光工件，提高硅环产品加工便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 | ||
【主权项】：
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