[实用新型]一种带支撑结构的卧式真空镀膜室有效
申请号: | 202021454283.4 | 申请日: | 2020-07-22 |
公开(公告)号: | CN212800516U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 渠艳良;李雷 | 申请(专利权)人: | 派珂纳米科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人: | 范圆圆 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种带支撑结构的卧式真空镀膜室,包括工作台、镀膜室和料仓;镀膜室横向固定在工作台上,镀膜室的一端设有端盖;端盖通过移动座与工作台滑动连接;料仓与端盖固定连接,料仓的下方设有可折叠的支撑组件;端盖打开时,料仓从镀膜室内移出,支撑杆能在复位弹簧的作用下竖直支撑在料仓的底部,有效防止料仓在移动时向下偏移;端盖关闭时,支撑杆在受到挤压后能向下转动折叠,使端盖顺利闭合。 | ||
搜索关键词: | 一种 支撑 结构 卧式 真空镀膜 | ||
【主权项】:
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