[实用新型]一种半导体零部件的清洗液过滤装置有效
| 申请号： | 202021435491.X | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN213854162U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈如明;陈彩丽;卜庆磊;杨子健 | 申请（专利权）人： | 英迪那米（徐州）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/24 | 分类号： | B01F7/24;B01F3/22;B01F15/00;B01D36/02 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 徐小淇 |
| 地址： | 221600 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体零部件的清洗液过滤装置，其特征在于：包括过滤箱、横板、辊轴、驱动机构及若干个过滤盒，所述横板固定安装在所述过滤箱内，且其上开设有若干个筛孔，所述辊轴转动安装在所述横板与所述过滤箱的顶板之间，所述驱动机构安装在所述过滤箱的顶部，且其与所述辊轴传动连接，所述辊轴的外圆周面上固定套接有螺旋叶片，所述过滤盒可拆卸式的密封固定在所述过滤箱的箱壁上，且其内填充有活性炭颗粒，本实用新型与现有技术相比的优点在于：实现过滤箱内清洗液的充分混合，保证了半导体零部件的清洗效率和质量，同时，大大减少了清洗液中的杂质颗粒含量，保证了半导体零部件表面的洁净，保障半导体的生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 零部件 清洗 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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