[实用新型]一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器有效
| 申请号： | 202021411479.5 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN212367821U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 戴严淼 | 申请（专利权）人： | 深圳精技工业科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;H05K5/02;H02G3/04 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 宫建华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，包括防护箱，所述防护箱的顶部开设有两个放置腔体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有驱动器本体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有安装机构，所述安装机构包括开设在放置腔体底部且与驱动器本体底部相适配的限位凹槽，所述驱动器本体两侧的顶部均固定连接有固定块，所述放置腔体内腔两侧的顶部均开设有与固定块相适配的矩形凹槽。本实用新型通过安装机构的设置，对驱动器本体进行安装固定，随后通过防护箱和顶盖的配合使用，对驱动器本体进行存放保护，同时通过散热机构的设置，对驱动器本体产生的热量进行散发，即可达到可防护和散热效果好的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 检测 设备 电动机 驱动器 | ||
【主权项】：
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