[实用新型]一种腔体均匀回压装置

摘要

本实用新型涉及光伏技术领域，且公开了一种腔体均匀回压装置，包括腔体架，所述腔体架的顶端活动安装有腔体盖，所述腔体盖的底端安装有限位块，所述腔体架内壁左右两侧的中部均安装有电动推杆，所述电动推杆的一侧共同安装有安装架，所述安装架的内侧壁的前后两侧均安装有等距离排列的固定架。本实用新型通过第一回压管与第二回压管的作用，能够使腔体架内腔上下两侧的压力相同，从而能够保持整个腔体架内部的压力保持平衡，能够防止压力不平衡对硅片造成的损坏，并且通过固定机构能够对处于石墨框架内部的硅片进行固定，并且通过两个电动推杆的伸缩能够缓慢晃动石墨框架，能够提高对硅片的干燥效率。