[实用新型]一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪

摘要

本实用新型涉及光谱扫描仪技术领域，尤其涉及一种平面式激光诱导击穿光谱扫描仪，包括用于发射脉冲光束的激光发射器、聚焦透镜、反射光栅、振镜、陷波滤镜、半透半反射振镜、高速面阵CCD阵列、光谱探头以及样品台，所述激光发射器发射出的脉冲光束通过所述聚焦透镜聚焦后经过倾斜设置的反射光栅和振镜反射偏转汇聚于所述样品台上的被测物体表面，被测物体表面的原子激发并发出光，激发出的光通过所述滤波滤镜与倾斜设置的半透半反射振镜，部分光通过所述光谱探头捕捉，另一部分成像到所述高速面阵CCD阵列的感光面上。本实用新型可以在进行激光打标作业的同时快速获取平面样品中的光谱信息，并通过矫正算法对物体表面成分进行进一步的定性定量分析。