[实用新型]振动传感器有效
| 申请号： | 202021263139.2 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN218679381U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 曾鹏;洪亭亭 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板、盖设固定于电路板并与电路板共同围成谐振腔的外壳、收容于谐振腔内并与电路板电性连接的MEMS麦克风以及收容于谐振腔内的振动组件；MEMS麦克风包括基底和背极板；振动组件包括垫片、与背极板间隔形成电容结构的振膜以及质量块；垫片、振膜和外壳共同围成收容腔，振动组件还设有贯穿其上的第一泄压孔，第一泄压孔将收容腔与谐振腔连通；外壳设有贯穿其上的第二泄压孔；外壳背离谐振腔的一侧和/或电路板背离谐振腔的一侧输入振动信号或压力信号时，振动组件振动，并使收容腔内的气压产生变化。与相关技术相比，本实用新型的振动传感器灵敏度更高，便于生产。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 | ||
【主权项】：
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