[实用新型]一种用于半导体元件加工的清洗架有效
| 申请号： | 202021217306.X | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN212759969U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 蒋振荣;周海生 | 申请（专利权）人： | 安徽富信半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 韩立峰 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于半导体元件加工的清洗架，包括清洗腔，所述清洗腔为密闭箱式空腔结构，且在清洗腔的正面上开设有开合门，所述清洗腔的内部固定设置有清洗架本体，所述清洗架本体上设置有四边形固定架，所述四边形固定架上设置有对半导体元件进行固定夹紧块一和夹紧块二，所述清洗腔位于四边形固定架上下两侧沿水平方向平铺若干根上冲洗管和下冲洗管，将夹紧块一和夹紧块二的C型卡槽沿纵向贯穿设置，使夹紧块一和夹紧块二通过一次装夹实现多块半导体元件的清洗，极大的提高了清洗效率，使该半导体元件加工清洗架实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 元件 加工 清洗 | ||
【主权项】：
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