[实用新型]一种下回传加热装置及系统

摘要

本实用新型公开了一种下回传加热装置及系统，属于真空镀膜机械技术领域。该回传装置包括箱体、设置在箱体上的驱动部件、传动机构、摩擦轮和设置在箱体中的加热装置；其中传动机构包括设置在箱体的两个侧板之间的主传动轴和设置在每个侧板上的多个从传动轴，主传动轴的两端设置有主同步轮，从传动轴的一端设置有从同步轮，摩擦轮设置在从传动轴位于侧板内侧的一端；驱动部件驱动主传动轴并带动主同步轮转动，主同步轮与其同侧的从同步轮通过第一同步带传动。本实用新型在载板回传过程中，通过加热装置持续对载板进行加热，使得载板保持较高的温度，当载板在回到工艺腔时，无需重新对载板进行加热，从而减少了工艺时间，提高了生产的效率。