[实用新型]一种微小型超高温压电振动加速度传感器有效
申请号: | 202021110946.0 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN212514648U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 于法鹏;刘学良;房浩然;杨勇;马庆宇;赵显 | 申请(专利权)人: | 山东本源晶体科技有限公司;山东大学 |
主分类号: | G01P15/09 | 分类号: | G01P15/09;G01H11/08 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 孙倩文 |
地址: | 250012 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: |
本实用新型涉及一种微小型超高温压电振动加速度传感器,属于电子材料与器件技术领域,包括安装底座、装配基面、压电模块和外壳;压电模块包括多片压电晶片和两个质量块,压片晶片为剪切式RECOB晶片,RECOB晶片的化学式为RECa |
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搜索关键词: | 一种 微小 超高温 压电 振动 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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