[实用新型]一种具有辅助进气装置的气相外延炉

摘要

本实用新型公开了一种具有辅助进气装置的气相外延炉，包括气相外延炉本体，所述气相外延炉本体的顶部连通有进气管，所述进气管的顶端设置有过滤机构，所述进气管的内腔设置有风机本体，所述风机本体的表面设置有固定机构，所述固定机构的两侧均设置有滑块。本实用新型通过固定机构的设置，可以将外部空气抽入气相外延炉本体的内腔，通过转动旋钮，最终使得上方插杆与下方插杆分别脱离上方和下方的内腔，进而对盖板和滑块同步解锁，即可依次将盖板和风机本体拆卸，该具有辅助进气装置的气相外延炉，具备便于拆装的优点，提高了气相外延炉本体的进气效率，进一步提高了该气相外延炉的工作效率。