[实用新型]一种沉积炉热场顶盖密封装置

摘要

本实用新型公开了一种沉积炉热场顶盖密封装置，包括炉体、内炉筒、排气管；排气管的底端与内炉筒的出气口连通，并通过底部的石墨锁紧环将排气管的底端卡接在内炉筒内部；排气管顶端与上部密封环固定连接，上部密封环紧贴反应气体出气口下方的炉体内壁，保证密封；从而使得内炉筒的反应气体经排气管直接进入反应气体出气口后排出；排气管的外壁套有压缩弹簧，压缩弹簧被压缩在排气管顶部与内炉筒之间，通过压缩弹簧的弹性张力，使得排气管和上部密封环与反应气体出气口下方的炉体内壁贴紧；当内炉筒因受热或冷却发生膨胀或者收缩时，受弹簧的弹性张力，内炉筒的出气口在排气管外壁上下滑动，保证热场的密封性。