[实用新型]一种光刻机硅片盛放盒有效
| 申请号： | 202021017693.2 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN212905894U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 徐一鸣 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光刻机硅片盛放盒，属于光刻机技术领域；包括盒体边框；盒体边框中部焊接有窗板架，窗板架上端固定连接有窗板，窗板与盒体边框上端边缘卡接，窗板表面开槽设置有窗槽；盒体边框内侧嵌入设置有抬升架，抬升架上表面排列有若干个硅片框，硅片框之间相邻设置有分隔页板，抬升架底端嵌接有衬板；盒体边框底端中部固定有抬升座，抬升座下端贯穿设置有轴头，轴头上端固定有套轴轴节，套轴轴节上端固定有螺杆，螺杆上端螺纹连接有连接头，连接头贯穿过衬板，该种硅片盛放盒通过排列布置的硅片框与分隔页板，方便硅片堆叠放置的同时，通过抬升架的抬升方便光刻机的取料抓取，提高了该盛放盒的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 硅片 盛放 | ||
【主权项】：
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