[实用新型]一种用于镀AF膜的镀膜机构有效

专利信息
申请号: 202020964665.5 申请日: 2020-05-29
公开(公告)号: CN212533114U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 唐光安;李勇聪;梁凤连;梁金培 申请(专利权)人: 深圳市信濠光电科技股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 代理人: 彭光荣
地址: 518000 广东省深圳市宝安区福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体涉及一种用于镀AF膜的镀膜机构,其包括设于真空镀膜机内用于安装AF药丸的导电药丸架、设于真空镀膜机内用于安装玻璃盖板的材料架、用于带动药丸架和材料架转动的传动装置以及用于驱动传动装置转动的驱动装置,所述传动装置包括转轴、连接架、承载件、主动齿轮和多个从动齿轮,所述转轴转动设于真空镀膜机内,所述连接架的中心、承载件的中心和主动齿轮的中心与转轴固定连接,多个所述材料架沿主动齿轮的圆周边缘周向间隔设于承载件上,每个所述材料架的上下端分别与连接架和承载件转动连接,所述从动齿轮固定设于材料架的底部且与主动齿轮啮合。本实用新型可以提高真空镀膜机镀AF膜的均匀性。
搜索关键词: 一种 用于 af 镀膜 机构
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