[实用新型]一种氮化硅生产用气体提纯系统

摘要

本实用新型公开了一种氮化硅生产用气体提纯系统，包括依次串联的除氧器、换热器、冷干机、汽水分离器和干燥塔，所述除氧器不少于两组且依次串联，每组除氧器的进气管道内分别串接氧含量分析仪和流量计，每组除氧器的进气管道通过三通管接入支管，所述支管内串接调速阀和流量计，所述除氧器的排气管与换热器的热管连通，所述干燥塔的排气管与换热器的冷管连通，所述干燥塔至少为两组，且两组干燥塔并联布置，两组干燥塔的进气口处分别设置阀门，两组干燥塔的出气口处分别设置单向阀，所述干燥塔内部设置加热部件和换热管，本氮化硅生产用气体提纯系统通过合理换热，提升热能利用率，降低设备能耗。