[实用新型]一种环形激光器充排气装置有效
| 申请号： | 202020866038.8 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN212136883U | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 郭学永 | 申请（专利权）人： | 郭学永 |
| 主分类号： | H01S3/083 | 分类号： | H01S3/083 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100075 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及环形激光器制造领域，具体涉及一种环形激光器充排气装置。包括电容薄膜规，高真空挡板阀1，高真空挡板阀2，高真空挡板阀3，环形激光器，电离规，真空排气系统，手动微调阀，混合气体供应装置，充气阳极，排气阳极。其中，真空排气系统与电离规连接，电离规与高真空挡板阀2连接，高真空挡板阀2与排气阳极连接，排气阳极连接在谐振腔阳极口上，充气阳极连接在谐振腔另一阳极口上，充气阳极与高真空挡板阀1连接，高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，手动微调阀与混合气体供应装置连接。本实用新型充排气管路各自独立，避免了污染物在充注气体时被气体带回环形激光器的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 激光器 排气装置 | ||
【主权项】：
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