[实用新型]一种真空镀膜均气管有效
| 申请号： | 202020846320.X | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN212560421U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡思贤;邹驰明 | 申请（专利权）人： | 胜倍尔超强镀膜（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 姚惠菱 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜均气管，包括均气管，所述均气管包括自内而外依次套设的多层气管，所述气管的侧壁上设有气孔，相邻两层所述气管中，内层所述气管的气孔数量小于外层所述气管的气孔数量，相邻两层所述气管之间形成环形腔体，所述环形腔体被分隔为位于其轴向不同位置的多个等容管室，所述管室与其内侧所述气管的气孔一一对应连通,所述管室与其外侧所述气管的气孔一对多的连通。本实用新型公开的真空镀膜均气管，通气管体积小、均匀度理想、结构简单、加工简单，适用环境广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 气管 | ||
【主权项】：
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