[实用新型]一种强弱电分离式原子层沉积系统的机柜有效
| 申请号： | 202020768046.9 | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN211929960U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 江苏迈纳德微纳技术有限公司 |
| 主分类号： | H02B1/30 | 分类号： | H02B1/30;H02B1/32 |
| 代理公司： | 无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323 | 代理人： | 张迎召 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种强弱电分离式原子层沉积系统的机柜，包括第一柜体和第二柜体，所述第一柜体位于第二柜体一侧，且通过锁紧组件可拆卸连接，所述第一柜体内部安装ALD操作组件，所述第一柜体侧壁开设有第一穿线孔，所述第二柜体内部顶端固定连接电控组件，所述第二柜体内部从上至下依次安装弱电控制开关、第一强电控制柜、第二强电控制柜和弱电控制柜，所述第二柜体侧壁开设有第二穿线孔，本实用新型设计新颖，把传统的机柜设置成第一柜体和第二柜体，由一体式分隔为两段式，方便组装和拆卸，缩小占地空间，方便运输，通过ALD操作组件和电控组件独立安装，操作方便，提高使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 强弱 分离 原子 沉积 系统 机柜 | ||
【主权项】：
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