[实用新型]全自动薄膜制备装置有效
申请号: | 202020756823.8 | 申请日: | 2020-05-09 |
公开(公告)号: | CN212077148U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 黄方;李渊;张林;孙书杰;殷小丰;肖振宇 | 申请(专利权)人: | 信阳师范学院 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12 |
代理公司: | 苏州九方专利代理事务所(特殊普通合伙) 32398 | 代理人: | 张文婷 |
地址: | 464000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种全自动薄膜制备装置,包括箱体,箱体表面设有电子显示屏、电源线以及多个旋钮组成的用于控制实验条件的多功能控制面板,箱体内设有滴胶组件、旋涂组件、加热组件和转移组件。本实用新型通过自动滴加溶液、自动旋涂、自动转移衬底、自动加热烘烤处理、自动多次重复旋涂热处理过程等程序化工作,实现了薄膜从溶液到成膜一体化制备工艺;该装置大大减少了人工成本,节约了时间,同时更能够精确的控制剂量和加热时间、涂膜时间等,减少了人为误差,提升涂膜可重复性;该装置可自动化运行,节约投入成本,更适用于经验不足的初学者,具有很大工业上批量推广的潜力。 | ||
搜索关键词: | 全自动 薄膜 制备 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理