[实用新型]全自动薄膜制备装置有效

专利信息
申请号: 202020756823.8 申请日: 2020-05-09
公开(公告)号: CN212077148U 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 黄方;李渊;张林;孙书杰;殷小丰;肖振宇 申请(专利权)人: 信阳师范学院
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 苏州九方专利代理事务所(特殊普通合伙) 32398 代理人: 张文婷
地址: 464000 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了一种全自动薄膜制备装置,包括箱体,箱体表面设有电子显示屏、电源线以及多个旋钮组成的用于控制实验条件的多功能控制面板,箱体内设有滴胶组件、旋涂组件、加热组件和转移组件。本实用新型通过自动滴加溶液、自动旋涂、自动转移衬底、自动加热烘烤处理、自动多次重复旋涂热处理过程等程序化工作,实现了薄膜从溶液到成膜一体化制备工艺;该装置大大减少了人工成本,节约了时间,同时更能够精确的控制剂量和加热时间、涂膜时间等,减少了人为误差,提升涂膜可重复性;该装置可自动化运行,节约投入成本,更适用于经验不足的初学者,具有很大工业上批量推广的潜力。
搜索关键词: 全自动 薄膜 制备 装置
【主权项】:
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