[实用新型]一种平面溅射靶材

摘要

本实用新型属于溅射镀膜技术领域，尤其为一种平面溅射靶材，包括主板、固定孔和滑道，所述主板的下方固定有延伸板，所述固定孔的上方安置有限位块，所述滑道的内部固定有限位块，所述安装板的内部安置有固定机构，所述主板的后方固定有背板，且背板的表面设置有水槽。该平面溅射靶材，背板中设置了水槽，主要用于使用时进行水循环降温，溅射镀膜过程中，靶材处于高温环境中，为了对所述靶材进行降温，通常采用持续的高压冷却水冲击，背板，高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，因此要求靶材与背板具有较强的焊接牢固度，本专利背板设置水循环装置，避免了高压冷却水冲击背板造成的损害，提升了靶材的使用寿命。