[实用新型]一种镀膜治具有效

专利信息
申请号: 202020691733.5 申请日: 2020-04-29
公开(公告)号: CN212426166U 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 游秀屏;游敬峰 申请(专利权)人: 柏霆(苏州)光电科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及磁控溅镀设备领域,具体涉及一种镀膜治具,包括:包括:治具本体、架高块、固定座;所述治具本体的上端面设有限位槽,产品嵌入配合放置在限位槽内部;所述限位槽内面设置有硅胶防滑垫;所述架高块的上端连接治具本体下端面,下端插入固定在固定座;所述固定座固定在输送台车上。采用本实用新型,可架高治具本体与产品,使得电浆气团与镀膜粒子更加充分作用于产品,增加侧壁膜厚,提升整体镀膜效果。
搜索关键词: 一种 镀膜
【主权项】:
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