[实用新型]一种大行程多自由度纳米级定位装置

摘要

本实用新型涉及一种大行程多自由度纳米级定位装置，包括底座，所述底座顶部通过带自锁下铰链连接电动缸一端，所述电动缸另一端连接微动驱动机构一端，所述微动驱动机构另一端通过带自锁上铰链连接工作台底部。本实用新型，结构简单，大行程高精度，通过发明的驱动结构具有大行程高精度的特点，实现平台的大行程高精度，弥补了传统的高精度行程小的缺陷。多自由度，通过并联机器人机构实现了多自由的任意姿态调节，满足各种定位需求。自动化程度高，通过计算机实现整个定位和控制方法，可以高效实现定位操作提高使用效率。