[实用新型]一种抗干扰晶圆测试用探针卡及其关键机构

摘要

本实用新型公开了一种抗干扰晶圆测试用探针卡及其关键机构，所述探针卡包括探针卡体、调节机构和固定机构，所述探针卡体上设有卡槽，卡槽上侧设有若干接点一，卡槽下侧设有若干接点二，所述接点二下侧均电性连接有探针通路，探针通路另一端电性连接有接点三，接点三电性连接探针头，所述卡槽内设有调节机构。本实用新型使用时，拉动拉杆，带动支架、套杆上升，此时在拖动固定块带动导电块在卡槽内左右移动，转动导电块便于调节两导电块之间的角度，可对不同的接点一和接点二进行连接，避免了探针卡体在进行检修时，导致无法进行抗干扰工作。