[实用新型]一种旋转靶材精确喷涂装置有效
| 申请号: | 202020614849.9 | 申请日: | 2020-04-22 |
| 公开(公告)号: | CN211628066U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
| 发明(设计)人: | 李兵 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号: | G05B19/05 | 分类号: | G05B19/05;B05B13/04 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
| 地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种旋转靶材精确喷涂装置,包括主控柜和安装于主控柜中的主控电路以及安装有靶材喷涂机的走枪小车,靶材喷涂机具有一主轴,走枪小车安装有齿轮,主控柜设置有与齿轮相互啮合的齿条以及与齿轮传动连接的伺服电机,主控电路包括有触摸屏、可编程控制器、伺服驱动器,触摸屏与可编程控制器电连接,可编程控制器与主轴和伺服驱动器电连接,伺服驱动器与伺服电机电连接;通过触摸屏对可编程控制器进行编程,由可编程控制器将控制信号输出后,控制伺服电机转动,使得齿轮带动走枪小车在齿条上移动,通过数字化精确控制走枪小车的精度,进而可以一次性对靶材进行精准喷涂。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 旋转 精确 喷涂 装置 | ||
【主权项】:
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