[实用新型]一种用于卷对卷激光直写曝光机的镜头标定相机机构有效
申请号: | 202020561617.1 | 申请日: | 2020-04-14 |
公开(公告)号: | CN211878419U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 王历先 | 申请(专利权)人: | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 奚华保 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于卷对卷激光直写曝光机的镜头标定相机机构,包括标定相机、标定相机避让组件和固定组件。标定相机避让组件包括辊筒一、辊筒二、辊筒三和顶升气缸。固定组件包括底板、固定架一和固定架二。顶升气缸和固定架一分别安装在底板的前后两端上方。固定架二安装在顶升气缸的上方。辊筒一安装在固定架二的上端。标定相机和辊筒三从前向后依次安装在固定架一的上端。辊筒二安装在标定相机下方的固定架一上。本实用新型能够解决现有技术中存在的不足,能够对镜头位置进行实时标定,有效提高了曝光良率,避免了PCB板的报废,且标定相机的位置固定不动,提高了位置标定重复性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 曝光 镜头 标定 相机 机构 | ||
【主权项】:
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