[实用新型]一种透射式无指示光栅光学测量装置有效
| 申请号: | 202020556948.6 | 申请日: | 2020-04-15 |
| 公开(公告)号: | CN211783310U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
| 发明(设计)人: | 甘天才 | 申请(专利权)人: | 广东光栅数显技术有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司: | 广东腾锐律师事务所 44473 | 代理人: | 陈培华;莫锡斌 |
| 地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种透射式无指示光栅光学测量装置,包括光源、主光栅和接收器,主光栅和接收器依次设置在光源的直线光路上,主光栅上至少有3N+1根平行间隔排列的矩形光栅刻线,接收器上设有用于光电信号转换的硅光晶片,硅光晶片上设有4M+1块平行间隔排列的矩形光刻栅片;光栅刻线的宽度、相邻两光栅刻线的栅距、光刻栅片的宽度均为W,相邻两光刻栅片的栅距为W/2,N、M均为自然数。本实用新型的透射式无指示光栅光学测量装置具有测量准确性好、测量精度高和产品一致性好的特点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 透射 指示 光栅 光学 测量 装置 | ||
【主权项】:
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