[实用新型]一种硅片碱液清洗机有效
| 申请号： | 202020534460.3 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN211989986U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李伟;戴磊;王波波;吴斌华;夏康;蓝希旺 | 申请（专利权）人： | 中赣新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 335000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片碱液清洗机，包括箱体，所述箱体的两侧设置有多个分液管，两侧的多个所述分液管的底端固定连接有总液管，所述箱体的底端固定连接有驱动箱，所述驱动箱的内部设置有循环泵，所述循环泵的顶端两侧设置有多个吸液管，两侧所述总液管的中心处固定连接有多个喷水管，多个所述喷水管的顶端穿过箱体并向上延伸，多个所述喷水管的延伸处设置有喷头，所述箱体内部底端两侧设置有垫块，所述垫块的顶端设置有硅片篮，所述循环泵的前侧设置有出液管，所述出液管与总液管固定连接。本实用新型通过设置循环泵，通过循环泵加速箱体内碱液的流动速度，通过快速流动的碱液本身对硅片进行清洗，空气环境对清洗的影响得以避免。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
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