[实用新型]真空等离子处理系统有效
| 申请号： | 202020493562.5 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN211507568U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 罗弦 | 申请（专利权）人： | 深圳市诚峰智造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 王芳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空等离子处理系统，包括传送机构、等离子处理腔体、驱动机构、用于上料的第一机械手和用于下料的第二机械手，所述等离子处理腔体包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体设置于所述传送机构上，且所述传送机构带动所述第一腔体运动，所述第二腔体设置于所述传送机构的上方，所述驱动机构驱动所述第二腔体向第一腔体运动以实现等离子处理腔体的合体或分离。无需人工操作，整个过程均可自动进行，处理效率高，且处理效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 等离子 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市诚峰智造有限公司，未经深圳市诚峰智造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020493562.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于使用的计算机鼠标
- 下一篇：压力表防水测试装置
