[实用新型]PSM4/AOC光发射芯片

摘要

本实用新型公开了一种PSM4/AOC光发射芯片，该芯片集成有四个MZ电光调制器和四个激光器，四个激光器依次键合在衬底上，所述衬底上设有SiO2层，所述SiO2层上设有Si层；MZ电光调制器均包括PLC波导合路器、PLC波导分路器和一对硅波导相移臂；四个MZ电光调制器的PLC波导合路器、分路器均设置在SiO2层内，四个MZ电光调制器的硅波导相移臂均设置在Si层上；四个激光器输出的光信号分别端面耦合进入四个MZ电光调制器的PLC波导分路器。本实用新型的光发射芯片，兼具高调制速率、低片上光损耗的技术优势，并且在出光端可以直接与单模光纤阵列实现低损耗的端面耦合。