[实用新型]一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置

摘要

本实用新型公开了一种避免假性瑕疵的晶圆流片表面平整度检测装置，其结构包括机体、电控箱、升降支架、检测探头、阻接座、传动带、除尘器、导轨、工作台，本实用新型将晶圆片放在除尘器表面置物板上，第一吸尘头与第二吸尘头通过限位块保持安装角度，转盘通电磁接后由安装轴保持转动中点轴位置固定不变，具有固定环形轨迹的作用，置物板顺着限位块弧度活动吻合旋转，绕第一吸尘头、第二吸尘头下方空槽围转，通过负压气管将晶圆片表面的灰尘等颗粒物质不断从第一吸尘头、第二吸尘头开口收集排出，使得检测探头在扫描晶圆表面时能够不被假性瑕疵物质蒙蔽而误判断产品不合格，有效提高装置对晶圆表面平整度的检测精度。