[实用新型]一种可微调的真空腔体内喷气装置有效
| 申请号： | 202020324481.2 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN211738631U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 刘娜 | 申请（专利权）人： | 安徽卓凌机电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/04;F17C13/00;F17D1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可微调的真空腔体内喷气装置，包括有气体管道支撑，气体管道支撑内设置有气体管道，气体管道支撑的前端部安装有用于与真空腔体连接的安装法兰，气体管道由真空外管道和真空内管道组成，真空内管道位于气体管道支撑内，真空内管道的出气端安装有喷嘴管道，喷嘴管道的前端安装有喷嘴头，喷嘴头上分布有喷嘴小孔，真空外管道安装在用于连接真空腔体的安装法兰上且位于外侧，气体管道包括有抽真空支路和微调支路，所述抽真空支路上安装有抽真空阀，所述微调支路上安装有微调阀。本实用新型结构设计合理，可以精确的控制进入到真空内管道内的气流量，避免气流量过大会对腔体产生污染或直接造成破空现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微调 空腔 体内 喷气 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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